브이엠이 차세대 건식 식각 장비 개발 국책과제를 성공적으로 완수했다. 올해 범용 장비부터 국산화한다.2일 업계에 따르면… — 디일렉(THEELEC)

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브이엠이 차세대 건식 식각 장비 개발 국책과제를 성공적으로 완수했다. 올해 범용 장비부터 국산화한다.2일 업계에 따르면 브이엠은 산업통상부 주관 국책과제 '차세대 300mm 고종횡비(HAR:High Aspect Ratio) 공정 산화막(옥사이드) 건식 식각 장비 개발' 평가에서 '연구 개발과제 우수 완수' 판정을 받았다. 과제의 정량적 목표를 달성하고 공인인증평가, 기본 성능 검증을 모두 통과했다는 뜻이다.해당 과제는 반도체 제조용 고성능 산화막 식각 양산 장비를 설계, 구축하는 것이다. 건식 식각 장비는 챔버 내 가스를 주입하고

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브이엠, CCP 건식 식각 장비 개발...연내 퀄 테스트 돌입 - 디일렉(THE ELEC)

브이엠이 차세대 건식 식각 장비 개발 국책과제를 성공적으로 완수했다. 올해 범용 장비부터 국산화한다.2일 업계에 따르면 브이엠은 산업통상부 주관 국책과제 '차세대