Зеленоградский нанотехнологический центр создаст промышленный сканирующий электронный микроскоп для контроля чипов.
Микроскоп предназначен для неразрушающего контроля ширины линий и диаметров контактных отверстий на пластинах 100-200 мм. Ключевые узлы должны быть отечественными.
Установка призвана заменить японское оборудование, аналогов которому нет в РФ. Цена вопроса – 2,37 млрд рублей. Результат должны представить Минпромторгу в 2030 году
Курс на Реверс / В MAX





