Российские ученые завершили научно-исследовательские работы по созданию многолучевого электронного литографа. Первый опытный образец может появиться через три года.Обычно на обработку одной пластины требуется до двух недель, а новый комплекс справится за 5-7 минут.
Разработка основана на технологии мультикатода, формирующей сразу множество независимых электронных лучей
Курс на Реверс / В MAX
